EUV-Lithografie — wie Chips belichtet werden (3D)
Wie ein EUV-Scanner Chips belichtet: Zinnplasma, Kollektor, Facettenspiegel, reflektierende Maske und sechs Projektionsspiegel bilden das Muster 4 : 1 verkleinert auf den Wafer ab. Zeitlupe der Quelle, Leistungsverlust über 10 Spiegel und ein berechnetes Luftbild zeigen, warum 13,5 nm feinere Strukturen erlauben als DUV.
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